雙色測溫儀：雙色測溫儀的典型應(yīng)用之多晶硅的生產(chǎn)測量

　　或許大家還不夠了解雙色測溫儀。今天就雙色測溫儀的典型應(yīng)用即多晶硅生產(chǎn)測量來為大家介紹一下。一起來看下吧!

　　在多晶硅生產(chǎn)開始時，半導(dǎo)體硅芯在還原爐中被高壓瞬間擊穿，通過硅芯的電流使硅芯達到1080℃的工藝溫度，在硅芯由φ7mm~φ180mm成長的過程當中，該工藝溫度需要保持不變。但是，隨著硅棒直徑的不斷變大，其相應(yīng)的阻抗會不斷下降，從而使硅棒的受熱性下降。為了保持1080℃的硅棒溫度不變，只能相應(yīng)地增加工作電流(電流從開始時的30A，到結(jié)束時為2800A)。在動態(tài)范圍內(nèi)的大電流變化，對生產(chǎn)設(shè)備和操作人員提出了較高的要求。此外，硅棒的熔點在1420℃左右，因此準確測量多晶硅的溫度是非常重要的。

　　測量難點：

　　1、開始生產(chǎn)時硅芯的直徑僅為φ7mm，且目標尺寸過小。

　　2、單色紅外測溫儀測量硅棒溫度時，設(shè)備需要安裝在還原爐外部，通過密封窗口瞄準爐內(nèi)目標。窗口污染對透光率的影響造成了實際測量的偏差。

　　3、雙層玻璃窗對紅外信號的損耗影響較大。

　　采用雙色測溫儀的優(yōu)點：

　　1、利用雙色測溫儀原理，直接測量目標的實際溫度，不受材料輻射率的影響，無需對發(fā)射率進行補償。

　　2、目視瞄準，直視目標。

　　3、對輕微的窗口污染不敏感。

　　4、不再依賴紅外能量，對信號損耗不敏感。

　　以上便是為您介紹的雙色測溫儀的典型應(yīng)用之多晶硅的生產(chǎn)測量，希望對您有所幫助!