真空鍍膜設(shè)備這些常識，你都了解嗎？

　　真空鍍膜設(shè)備主要是指一種需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，包括很多種，包括真空離子蒸發(fā)、磁控濺射、分子束外延、激光濺射沉積等。真空鍍膜設(shè)備主要思想分為蒸發(fā)和濺射。需要涂覆的稱為基材，需要涂覆的材料稱為靶材。襯底和靶在真空室中。蒸發(fā)鍍膜一般是指加熱靶材，使表層成分以原子團(tuán)或離子的形式蒸發(fā)，然后沉積在襯底表層，通過成膜過程形成薄膜。對于濺射鍍膜，可以簡單理解為靶受到電子或高能激光的轟擊，表層成分以原子團(tuán)或離子的形式濺射出來，沉積在襯底表層，經(jīng)過成膜、蒸鍍設(shè)備和蒸鍍設(shè)備的過程，然后形成薄膜?！　?/p>

　　真空鍍膜設(shè)備的使用步驟

　　1、電機(jī)控制柜操作：開啟真空鍍膜設(shè)備水泵、氣源;打開主電源;保持泵和真空計通電，并將真空計置于V1位置，等待直到其值小于10.然后進(jìn)入下一個操作。大約需要5分鐘;打開機(jī)械泵、預(yù)泵，打開渦輪分子泵電源，啟動，將真空計切換到V2位置，抽至2以下，約20分鐘;觀察渦輪分子泵讀數(shù)達(dá)到250后，關(guān)閉泵，打開前置發(fā)動機(jī)和高位閥繼續(xù)抽真空，抽真空到一定程度后打開右側(cè)高真空表觀察真空度。直到真空度達(dá)到210-3.電子槍的電源才能接通。

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　　2、電子槍電源柜操作：打開真空鍍膜設(shè)備主電源;同時打開電子槍控制一和電子槍控制二的電源：按下電子槍控制一的電源和延時開關(guān)，延時、電源和保護(hù)燈將點亮。三分鐘后，延時保護(hù)燈熄滅。如果后門沒有準(zhǔn)確關(guān)閉或水流繼電器有故障，保護(hù)燈將一直亮著。通斷時，高壓將達(dá)到10KV以上，束流可調(diào)節(jié)至200毫安左右，幕柵為20V/100毫安，燈絲電流為1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1 ~ 1.7之間擺動。

　　3、關(guān)機(jī)順序：關(guān)閉真空鍍膜設(shè)備真空計，關(guān)閉分子泵;分子泵顯示50時，依次關(guān)閉高閥、前級、機(jī)械泵，約40分鐘;當(dāng)溫度低于50°時，關(guān)閉維護(hù)泵。

　　真空鍍膜設(shè)備維護(hù)方法：

? ? ? 1、真空鍍膜設(shè)備在完成200多道鍍膜工序后，應(yīng)清洗工作室一次。

? ? ? 2、當(dāng)?shù)驼婵毡眠B續(xù)工作一個月時，需要更換新油。方法：擰開注油螺栓，排干舊油，然后啟動泵幾秒鐘，將泵內(nèi)的舊油完全排干。擰回注油螺栓，并添加新油至額定量。連續(xù)使用半年以上，換油時應(yīng)打開油蓋，用布擦去箱內(nèi)污漬。

? ? ? 3、真空鍍膜設(shè)備擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個月以上，泵速明顯變慢或操作不當(dāng)。充入大氣，取下連接水管，取下電爐盤，擰出一次噴嘴，先用汽油清洗泵腔和泵膽，再用混有水的洗衣粉清洗，然后用清水清洗。水蒸發(fā)后安裝泵膽，加入新的擴(kuò)散泵油，放回體內(nèi)，連接水管，重啟真空鍍膜設(shè)備前要注意檢漏。