離子束加工技術(shù)的特色

? ? ? ?離子束指的是可以以一定的速度沿著同一個方向進(jìn)行運(yùn)動的一大群離子，在各種不同的離子源中，目前被應(yīng)用的最多的就是等離子體離子源，也就是說可以利用電場將離子從一團(tuán)等離子中誘引出來。而這類離子源它的主要參數(shù)是根據(jù)密度、引出系統(tǒng)的質(zhì)量以及溫度來進(jìn)行決定的，接下來小編將通過介紹離子束來為大家分析一下離子束加工技術(shù)的一些特色。

? ? ? ?在開始的時候人們會將擁有一定能量的硼磷或者是其他元素的一些離子注入到半導(dǎo)體的材料之中，這樣子就能形成一定的摻雜離子，而摻雜的深度就可以改變離子束加工技術(shù)的能量來進(jìn)行控制，通過摻雜的濃度就體現(xiàn)出了離子流的強(qiáng)度。一般而言，離子注入這種方法，它的可靠性以及重復(fù)性都要比擴(kuò)散法要好得多，這種離子注入摻雜在半導(dǎo)體中大規(guī)模形成的集成電路在生產(chǎn)之中已經(jīng)形成了一個較為重要的環(huán)節(jié)，所以說利用離子束加工技術(shù)取代舊的擴(kuò)散工藝，在一些元件之中已經(jīng)成為了一種發(fā)展的趨勢。

? ? ? ?目前為止，離子束加工技術(shù)在金屬材料的改變性能之中獲得的結(jié)果也是引起了眾人的注意力，在一些常用的金屬的改性之中，為了可以提高這些金屬本身擁有的抗腐蝕性能、硬度或者是抗疲勞性，從而下降金屬的磨損率，對于一些絕緣材料，比如說我們普遍的有機(jī)材料，玻璃，陶瓷等，再經(jīng)過離子束加工技術(shù)的照射之后，它的性質(zhì)都發(fā)生了極大的變化，這樣子就使得它的用途變得更多了。

? ? ? ?離子束加工技術(shù)存在相互的作用，它是具有一定的離子在跟物質(zhì)發(fā)生相互作用之后，就會使得其發(fā)出光子、電子等等，甚至還可以發(fā)出彈性散射和非彈性散射，從而產(chǎn)生一些特殊的反應(yīng)產(chǎn)物，進(jìn)而提供關(guān)于這些物質(zhì)的結(jié)構(gòu)組分狀態(tài)等等多個信息，這樣子利用這些信息，我們就可以分析一些樣品，這也就是人們常說的離子束分析。離子束加工技術(shù)是一個復(fù)雜的過程，利用這種方法一般能得到一些冶金或者是化工方法無法得到的一些新型的材料。