工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)原理

　　工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)是用于半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中關(guān)鍵設(shè)備的間接冷卻裝置，分為開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)。下面就工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)組成、工作原理內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)介紹。

　　工藝?yán)鋮s水的應(yīng)用范圍非常廣泛，涉及到工業(yè)生產(chǎn)中的各方面，包括半導(dǎo)體、大型中央空調(diào)、煤化工、石化廠、微電子、工業(yè)制冷機(jī)、火電廠中汽輪機(jī)排氣冷凝、天然氣管道降溫等場(chǎng)所均有大量的工藝?yán)鋮s水使用，在許多產(chǎn)品或工藝生產(chǎn)環(huán)境都要求配備潔凈廠房，車間全年要求溫度和相對(duì)濕度保持在一定范圍，其中一些生產(chǎn)過程發(fā)熱量大，工藝設(shè)備需要低溫水冷卻降溫，甚至在冬季仍然需要空調(diào)供冷，為了滿足這些要求，必須建造工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)分為開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)兩類。

　　工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)組成及工作原理

　　工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)由以下幾部分組成：冷水機(jī)組、泵、熱交換器、水箱、過濾器、工藝設(shè)備。

　　冷水機(jī)組：給冷卻水系統(tǒng)提供冷源。

　　水泵：對(duì)水加壓，保證其在冷卻系統(tǒng)中循環(huán)流動(dòng)。

　　熱交換器：利用此設(shè)備使冷凍水系統(tǒng)與冷卻水系統(tǒng)產(chǎn)生熱交換，以將此系統(tǒng)負(fù)載端產(chǎn)生的熱量傳送給冷凍水系統(tǒng)，熱交換器種類繁多，按其形式可分管殼式、板式、板翅式、熱管式等。相比較而言，板式熱交換器具有占地面積小，傳熱面積大的優(yōu)點(diǎn)?？紤]到半導(dǎo)體廠房空間面積造價(jià)特色，優(yōu)選占地面積小的設(shè)備，節(jié)省用地面積，節(jié)省了工程造價(jià)。

　　水箱：開式系統(tǒng)中水箱主要起到補(bǔ)充水源作用，閉式系統(tǒng)中水箱需要挑選膨脹水箱，膨脹水箱有三個(gè)作用，一是收容和補(bǔ)償系統(tǒng)中水的脹縮量。二是向密閉式循環(huán)水系統(tǒng)提供穩(wěn)定的壓力，起到系統(tǒng)穩(wěn)壓的作用。三是作為系統(tǒng)補(bǔ)水泵的指示，通常由膨脹水箱發(fā)出信號(hào)啟動(dòng)或關(guān)閉系統(tǒng)補(bǔ)水泵。

　　過濾器：過慮掉水中的固體顆粒雜質(zhì)，凈化水源。

　　工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)中有冷凍水和冷卻水這兩個(gè)相對(duì)獨(dú)立的系統(tǒng)，冷凍水由冷水機(jī)組提供，冷凍水與冷卻水進(jìn)行熱交換，使冷卻水降溫從而下降設(shè)備的溫度，從生產(chǎn)設(shè)備抽水經(jīng)水泵至熱交換器通過控制冷凍水的量來保證工藝?yán)鋮s水的水溫，通過過濾器后送至生產(chǎn)線設(shè)備，再回到水泵，構(gòu)成工藝?yán)鋮s水反復(fù)循環(huán)，冷凍水則直接回冷水機(jī)組。