文章摘要: 隨著工業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)精密測(cè)量技術(shù)的要求越來越高。位移測(cè)量技術(shù)作為幾何量精密測(cè)量的基礎(chǔ),不僅需要超高的測(cè)量精度,還需要對(duì)環(huán)境和材料有廣泛的適應(yīng)性,逐漸趨向于實(shí)時(shí)和無損檢測(cè)。與傳統(tǒng)的接觸測(cè)量方法相比,可視化光譜共焦位移傳感器具有速度快、精度高
隨著工業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)精密測(cè)量技術(shù)的要求越來越高。位移測(cè)量技術(shù)作為幾何量精密測(cè)量的基礎(chǔ),不僅需要超高的測(cè)量精度,還需要對(duì)環(huán)境和材料有廣泛的適應(yīng)性,逐漸趨向于實(shí)時(shí)和無損檢測(cè)。與傳統(tǒng)的接觸測(cè)量方法相比,可視化光譜共焦位移傳感器具有速度快、精度高、適應(yīng)性強(qiáng)等明顯優(yōu)勢(shì)。
1.粗糙度測(cè)量
由于納米精度和優(yōu)異的角度特性,同軸共焦位移傳感器符合ISO25178.可用于表層粗糙度的高精度測(cè)量。與傳統(tǒng)的接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x相比,同軸共焦位移測(cè)量?jī)x以更高的速度采集粗糙度輪廓,對(duì)產(chǎn)品表層沒有任何損傷。
2.輪廓和三維形狀測(cè)量
同軸共焦位移傳感器集成在三維掃描系統(tǒng)上,可以為負(fù)載表層形貌提供2D和三維測(cè)量數(shù)據(jù)。
3.透明體厚度測(cè)量
創(chuàng)新的同軸共焦原理使該傳感器可以直接通過透明工件的正面和背面測(cè)量厚度,整個(gè)過程當(dāng)中只需要一個(gè)傳感器就可以從工件的一側(cè)測(cè)量厚度。與基于三角反射原理的激光位移傳感器相比,由于同軸光的存在,該儀器可以更有效地測(cè)量弧形工件的厚度。
4.液位控制
優(yōu)異的非接觸同軸測(cè)量,傳感器可以檢測(cè)和測(cè)量液位。
5.在線檢測(cè)
采樣頻率高、體積小、插卡數(shù)據(jù)接口,使該儀器非常容易集成到在線生產(chǎn)檢測(cè)設(shè)備中,實(shí)現(xiàn)在線檢測(cè)。
6.振動(dòng)測(cè)量
由于超高的采樣頻率和超高的精度,同軸傳感器可以測(cè)量振動(dòng)物體。傳感器的非接觸設(shè)計(jì)可以避免測(cè)量過程當(dāng)中對(duì)振動(dòng)物體的干擾,同時(shí)可以對(duì)復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測(cè)量和分析。
隨著可視化光譜共焦位移傳感器技術(shù)的發(fā)展,它將在微電子、線寬測(cè)量、納米測(cè)量、超精密幾何測(cè)量等領(lǐng)域得到更廣泛的應(yīng)用。
可視化光譜共焦位移傳感器適用于哪些領(lǐng)域
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