白光干涉光學(xué)輪廓儀
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白光干涉光學(xué)輪廓儀
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperViewW1白光干涉光學(xué)輪廓儀設(shè)計簡潔、用途多樣。能夠測量不同的材質(zhì)，結(jié)構(gòu)，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌,測量應(yīng)用。配合VisionX軟件系統(tǒng)，用戶將獲得難以置信的直觀操作體驗。
產(chǎn)品參數(shù)產(chǎn)品型號：SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng)：1024×1024
光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程：100mm，電動
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
可測樣品反射率：0.05%-100
水平調(diào)整：±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
產(chǎn)品特點1. 非接觸式測量：避免物件受損。2. 三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-10mm。3. 多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。4. 納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。5. 高速數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。6. 掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。7. 工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。8. 測量軟件：基于windows操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。
在線檢測方法是廣為生產(chǎn)線所接受的質(zhì)量監(jiān)測方法。與傳統(tǒng)的接觸式非在線檢測相比，非接觸式在線檢測不需要取下產(chǎn)品或停止生產(chǎn)，就可對產(chǎn)品進行高品質(zhì)的監(jiān)控，而且在獲得實時數(shù)據(jù)的同時，并不會對產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。
SuperViewW1白光干涉光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
2）確認收貨前請仔細核驗產(chǎn)品質(zhì)量，避免出現(xiàn)以次充好的情況。
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